Parni sterilizatori koriste paru pod visokim-pritiskom za sterilizaciju. Osnovni princip je da se iskoristi moć prodiranja pare i njene visoke temperature (obično 121 do 134 stepena) da se uništi proteinska struktura mikroorganizama, čime se ubijaju bakterije, virusi, gljivice i spore. Konkretan proces je sljedeći:
Proizvodnja pare: Generator pare zagrijava vodu do visoke temperature, stvarajući paru pod visokim{0}}pritiskom.
Zapečaćena sterilizacija: para visokog-pritiska se ubrizgava u zatvorenu parnu komoru, potpuno pokrivajući predmete.
Uklanjanje hladnog vazduha: Vazduh se uklanja iz parne komore kroz ispušni ventil ili vakuum pumpu kako bi se osiguralo da para u potpunosti prodre u predmete.
Konstantna temperatura i sterilizacija pod pritiskom: Specifična temperatura i pritisak (kao što su 121 stepen i 103 kPa) se održavaju određeno vreme (obično 20 do 30 minuta) kako bi se obezbedila efikasna sterilizacija.
Ispuštanje i sušenje: Nakon završetka sterilizacije, para se oslobađa kroz ispušni ventil. Neki modeli nude funkciju sušenja za brzo sušenje predmeta.
